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我们的优势
2018-06-09

承担项目>>


“八五”国家科技攻关项目“光盘预制格式刻槽机”及“LKZ离子刻蚀终点检验仪” “九五”国家重大科学工程项目子课题“LAMOST透射光栅试制”

“十五”国家科技攻关课题的子项目“低杂散光平面全息光栅的研制”

“十一五”国家科技支撑计划重大项目“高分辨分光器件的研制与开发”

国家自然科学基金项目“亚微米集成电路离子刻蚀终点检验方法研究”、“强激光脉冲压缩用 高效率高破坏阈值光栅的研制”及“机械刻划光栅设计理论与刻划参数反演方法研究”

国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制” 国家创新方法研究专项“基于同心光学系统的新型成像光谱仪技术”

国家863计划项目“高光谱与高空间分辨率C02探测仪研制”

国家自然科学基金委员会国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”


实验室条件>>


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世界上面积最大的中阶梯光栅>>


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光栅刻划>>


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